溅射时ITO靶材爆发裂纹的原因
公布时间：2017/11/16
1：ito靶材的材质，最主要是冷却效果的好坏，不知道你的冷却条件怎么样，如果不可，就需要改善了。
2：焊靶时靶块之间要留有漏洞，不然启辉发热会裂。冷却水要疏通，且充分
